本发明公开了一种凸轮驱动磁体式磁流变流体动压抛光装置及抛光方法，包括抛光盘转动机构、凸轮驱动机构、工件夹持机构和磁流变抛光液，所述抛光盘转动机构包括第一主轴、轴盖、抛光盘托盘和抛光盘，所述抛光盘的上表面沿圆周方向设有多个楔形结构，所述凸轮驱动机构包括设置抛光盘托盘内的第一轴承、凸轮盘、磁体组、弹簧以及设置在第一主轴内的第二主轴、第二轴承和轴套；所述工件夹持机构包括工件盘和固定在工件盘底部的工件；本发明通过凸轮形式驱动磁铁沿抛光盘径向运动实现柔性抛光垫的实时修复，结合抛光盘面的楔形结构产生的流体动压力实现对抛光件的高效率超光滑均匀性抛光加工，打磨均匀、效率高、效果好。

本发明涉及一种凸轮驱动磁体式磁流变流体动压抛光装置及抛光方法，主要应用于光学玻璃、蓝宝石衬底、碳化硅晶片等硬脆材料的超精密抛光加工。该装置通过凸轮机构驱动永磁体阵列产生周期性变化的磁场，使磁流变抛光液形成动态压力分布，配合工件旋转实现纳米级表面粗糙度加工。该技术特别适用于非球面光学元件、微透镜阵列、半导体晶圆等复杂曲面的高效抛光，在光电显示、集成电路、红外光学系统等高端制造领域具有重要应用价值，可显著提高加工效率并降低亚表面损伤，满足精密光学器件日益提升的表面质量要求。