新能源与高效节能

本发明属于抛光技术领域，更具体地，涉及一种抛光液、磷化铟抛光装置及方法，其中抛光液包括基液以及混合于基液中的金属粉末、磨料；金属粉末与磨料的质量比为1:2～1:4，金属粉末的金属性弱于铟。本发明中一方面通过金属接触腐蚀反应将磷化铟表面氧化，从而降低磷化铟表面的硬度，其避免了使用酸性物质或碱性物质生成有毒气体危害工作人员安全或污染环境，同时还避免了抛光液对抛光装置的腐蚀。

该抛光液及磷化铟抛光装置与方法主要应用于磷化铟（InP）晶片的超精密抛光，适用于光通信、高速电子器件、红外探测器和量子计算等领域的衬底加工，可满足高平整度、低损伤的表面处理需求。同时兼容其他III-V族化合物半导体如砷化镓（GaAs）的抛光工艺，适用于科研机构、晶圆厂及先进封装领域，并能集成于自动化产线实现高效稳定的抛光制程。

本发明中一方面通过金属接触腐蚀反应将磷化铟表面氧化，从而降低磷化铟表面的硬度，其避免了使用酸性物质或碱性物质生成有毒气体危害工作人员安全或污染环境，同时还避免了抛光液对抛光装置的腐蚀；另一方面，本发明中设置的尾气处理系统，可以进一步净化抛光过程中产生的各种气体，进一步减小抛光过程对环境产生污染的概率，实现绿色高效以及高效的磷化铟抛光。