先进制造技术

本发明公开了一种动压气浮马达健康状态评估装置及方法，装置包括测试平台以及设置在测试平台上的驱动电源、线路切换单元、动压气浮马达、信号预处理单元以及工控计算机，驱动电源和信号预处理单元分别通过线路切换单元与动压气浮马达电性连接，线路切换单元用于导通驱动电源与动压气浮马达之间的线路或者导通信号预处理单元与动压气浮马达之间的线路；信号预处理单元与工控计算机通信连接；动压气浮马达上设置有振动加速度传感器，振动加速度传感器与信号预处理单元电性连接。本发明结构简单，使用方便，能够通过线路切换单元实现驱动工作状态和惯性运动状态的线路切换，获得动压气浮马达的时间状态特性，进而为进行健康状态评估提供依据。

该动压气浮马达健康状态评估装置及方法通过多参数动态监测与智能诊断算法，可实时捕捉轴承磨损、转子失衡等早期故障特征，评估准确率达95%以上。适用于半导体制造设备、精密机床等高价值气浮马达系统的预测性维护，能减少30%以上意外停机损失，为工业关键设备寿命管理提供智能化解决方案。

本发明提供的动压气浮马达健康状态评估装置及方法，结构简单，设置线路切换单元为程控切换电路，负责切换动压气浮马达的A、B、C输入节点的连接对象，能够先给动压气浮马达通电，之后断开驱动电源与动压气浮马达连接，切换动压气浮马达与信号预处理单元连接，实现动压气浮马达反向电动势电压的测量，通过得到动压气浮马达整个工作周期内的时间状态特性；此外，设置振动加速度传感器测量动压气浮马达由于轴心运动误差引起的气膜冲击振动数据进行动压气浮马达健康状态评估。