生物、医药和医疗器械技术

本分案申请公开了一种具有SnO2气敏材料制备步骤的可控湿度的半导体气敏元件的测试方法，属于元件测试领域，用于解决现有甲醛气敏元件的测试方法不完善的问题，且湿度控制精度低的问题，技术要点是：SnO2气敏材料制备的步骤，半导体气体传感器测试系统组建与测试的步骤，及对半导体气体传感器测试系统及半导体气敏元件性能分析的步骤；本发明使得对于甲醛气敏元件的测试更为完善，且提高了湿度的可控性与控制精度。

具有气敏材料制备步骤的半导体气敏元件的测试方法可以广泛应用于半导体器件、传感器、智能家居等领域，具有很好的应用前景。

这种测试方法可以测试半导体气敏元件的敏感度、选择性、稳定性等，能够帮助生产企业评估和优化半导体气敏元件的性能参数，提高产品质量和市场竞争力，在半导体器件和传感器市场具有广泛的应用前景。 例如，在智能家居领域，半导体气敏元件可以用于检测甲醛、一氧化碳等有毒气体的浓度，从而及时预警用户的健康风险，提高家庭生活的安全性。这种测试方法也可以帮助企业研发更加智能、安全的半导体气体传感器，从而推动智能家居行业的发展。

总的来说，具有气敏材料制备步骤的半导体气敏元件的测试方法具有广泛的应用前景，将在半导体产业、传感器产业以及智能家居等领域发挥重要作用。

有益效果：

1.本发明能够高精度的实现常见测试气体在常规测试浓度范围内的配气；可同时测试多支传感器或气体传感器阵列。

2.本发明能实现多参数测量：由于该测试系统是模块化的，可以同时连接多个测量模块，每个测量模块又可实现多通道测量，因此容易实现多个、多种类参数的同时测试。

3.本发明制备并测试了多种掺杂技术的敏感元件，使半导体气敏元件对挥发性有机气体的检测具有进展。

4.本发明将气体传感器阵列与人工神经网络技术相技术，并基于BP算法实现了多种气体的定性识别及单一气体的定量识别。

5.本发明所述的湿度控制系统，对湿度环境进行有效地感湿、除湿、加湿、湿度显示以及湿度报警等控制。使得湿度可以被有效监测和控制，测试过程顺利进行，实现10～60%RH湿度范围内密闭环境下的湿度控制，除湿效果显著，有效满足了气敏元件测试时对湿度控制的要求。且本发明设定气室湿度超过60%RH时，系统断电，目的在于保证测试在安全环境下进行，湿度超过60%RH时，测试系统处于危险状态，不适合测试实验进行。