新材料及其应用

本发明公开了一种氰酸酯树脂薄膜的制备方法及其反应设备，属于氰酸酯树脂超薄膜的有机合成技术领域。采用氰酸酯树脂单体通过等离子体聚合生成氰酸酯树脂超薄膜；所述制备方法的主要步骤包括基片预处理、单体预处理和等离子体聚合；所述等离子体聚合条件为压力5～20Pa、等离子体脉冲宽度为20～100s、等离子体聚合功率为15～85W、等离子体聚合时间为20～100min；所述反应设备包括主反应室和副反应室，通过两反应室的通断变换和推杆的左右移动将固相单体导入主反应室中，解决了固相单体进料难的问题。该制备方法所制得的薄膜介电常数低、无缺陷、质量高；制备过程简单，易于实施，没有环境污染，成本低。

等离子体聚合镀膜是一种新的薄膜制备技术。等离子体聚合制备的薄膜具有其独特的优点：沉积的薄膜可以从几十纳米到数微米；膜连续、无针孔；与基底黏附性好；产物高度交联；稳定的化学性能；耐热；耐腐蚀；优异的电性能和机械性能等。等离子体聚合要求反应室具备较好密封性，能达到较高的真空度，并能避免真空室内的污染。现有已知的等离子聚合装置为单反应室，能在此装置中进行等离子聚合的原料单体多为有机液相单体，通过导管将液相单体导入反应室中；但是当原料单体为固相时，存在进料难的问题。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：用该制备方法所制得的薄膜介电常数低、无缺陷、质量高；该反应设备包括主、副两个反应室，并通过两反应室的通断变换和推杆的左右移动，解决了固相单体进料难的问题，制备过程简单，操作简便，易于实施；该制备方法成本低，没有环境污染，体现了膜材料设计的新理念。