在光伏太阳能电池材料中，晶体硅太阳能电池是运用最为广泛的光电转换材料。然而在目前的太阳能电池硅片生产过程中不可避免的造成约30‑40％的高纯晶体硅以硅片切割废料的形式进入金刚石线切割浆中损失而无法回收。在现有的金刚石线切割浆处理过程中为了降低固液分离操作难度和缩短分离周期需要加入诸多的添加剂进行絮凝和沉降处理，另外为了避免和防止固液分离后含水的硅片切割废料发热或自燃还需要进一步喷洒阻燃剂进行处理。这些处理过程会额外的增加硅片切割废料中外来的杂质二次污染，从而增加了硅片切割废料回收再生制备高纯硅过程中杂质去除的负担和难度。同时，由于硅片切割废料中高纯硅颗粒细小，在常规的高温处理过程中不可避免的造成二次氧化从而降低了硅的回收率。

针对现有硅片切割废料再生利用工艺中预处理过程中二次污染和熔炼提纯中杂质去除率低、二次氧化严重和熔炼精炼分段进行的问题，提供一种硅片切割废料回收制备高纯硅的方法，本发明以太阳能电池硅片金刚石线切割过程中产生的硅片切割废料作为原料，先通过预处理获得低杂质和低氧化的原料，然后利用真空重熔和真空精炼、真空铸锭工艺实现硅熔体中杂质去除，并制备出6N级硅。