混合制程虚拟测量的方法与系统的技术需求
半导体晶圆与液晶面板等产品的批次生产过程,其生产模式已由单一产品的生产模式发展到多产品共线的生产模式,即:同时在线生产的产品规格有很多种,且由于生产机台昂贵驱使工程师将生产机台的利用时间极大化,尽可能地降低机台的空闲时间,所以同一种规格产品有可能在不同生产机台上生产,同一生产机台又会生产各种规格的产品,这种生产过程被称为混合制程。
需解决:
1、对整个加工过程的产品质量无法进行评估,较难及时发现不良品,增加生产成本。
2、增加产品的抽样频率,加重现场工程师的工作量,降低工作效率。
3、复杂化虚拟测量模型的结构与数量,较难于现场工程师理解和维护。
期望实现:
1、利用虚拟测量模型,可对整个加工过程的产品质量进行评估,及时发现不良品,降低生产成本。
2、利用虚拟测量模型,对混合制程的产品质量进行预测,可降低产品的抽样频率,减轻现场工程师的工作量,提高工作效率。
3、简化虚拟测量模型的结构与数量,便于现场工程师理解和维护。
请填写以下信息
联系人:
手机号:
单位名称:
备注: